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本研究分為兩個部分，第一部分以等原子比VNbMoTaW高熵合金靶材進行濺鍍，並於製程中控制不同氮氣通量，以製備不同氮含量之高熵合金薄膜；在第二部分使用Cr靶材與VNbMoTaW高熵合金靶共濺鍍，並改…
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氮化鉻薄膜擁有良好的機械性質與抗氧化能力，但硬度略低於其他硬膜，實驗將鋯與矽同時加入氮化鉻薄膜中以期改善顯微結構與機械性質。研究使用反應式雙極非對稱脈衝直流磁控濺鍍法製備含鋯量自0.49 at.%到…
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本實驗使用脈衝直流磁控濺鍍系統在200℃及400℃二種環境下鍍製出兩個系列共10批Cr-Si-C-N奈米複合薄膜，鍍製時通入四甲基矽烷(TMS)為前驅物作為薄膜內矽與碳的來源，在製程中逐漸提升TMS…
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摘要 氮化鉻薄膜具有高硬度、較佳耐磨耗性與抗腐蝕能力，因此已在 模具產業中廣泛被使用；而在氮化鉻薄膜中加入適量的銅元素又可以 有效提高薄膜之機械性質。本研究採用反應式雙極非對稱脈衝直流磁 控濺鍍法沉…
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本研究使用磁控濺鍍法鍍製不同矽含量之氮化鉻鋁矽與氮化鉻鈦鋁矽薄膜，並且針對矽含量對氮化鉻鋁矽與氮化鉻鈦鋁矽薄膜之微結構、機械性質與耐磨耗能力等性能進行分析。薄膜的晶相分析使用低掠角X光繞射儀進行分析…
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據不少文獻指出，硼的添加可有效形成奈米複合結構，現今已不少研究朝奈米複合結構方向發展。本研究中，利用雙靶共濺鍍方式方式鍍製具有不同硼含量之鈦鋯硼氮薄膜，分別為控制鈦及二硼化鋯靶材鍍製富含鈦之鈦鋯硼氮…